Титанова мішень для напиленнядоставка клієнту 13 грудня
Назва продукту Титанова кругла мішень
Клас Gr1 Gr2 Gr3 Gr5 (Ti6al4v)
Стандартна титанова мішень: технічні умови: відповідають ASTM B34897
Мішень з титанової пластини: технічні умови: відповідає ASTM B265-93
Специфікація: загальна специфікація: 60/65/95/100 * 30/32/40/45 мм
Ціль пластини: (8-25 мм * (150-300) мм * (1000-2500) мм
Трубчаста мішень: 70 мм * 7 мм/10 мм
Полірування поверхні може бути нарізним
Характеристики: легкий, чудова стійкість до корозії, стійкість до корозії, висока міцність, хороша термостійкість, хороша пластичність, нетоксичний, немагнітний, чудова механічна міцність тощо.
Стан Стан відпалу (M) Стан гарячої обробки (R) Стан холодної обробки (Y) (відпал, ультразвукова дефектоскопія)
Застосування: використовується в напівпровідникових роздільних пристроях, плоских дисплеях, плівках електродів для зберігання, покриттях напиленням, покриттях поверхонь заготовок, скляній промисловості
Чистота є одним із основних показників ефективності титанових мішеней, оскільки чистота мішені має великий вплив на продуктивність плівки. Однак у практичних застосуваннях вимоги до чистоти мішені також інші. Кремнієві мікросхеми зараз мають розміри від 6 до 8 дюймів до 12 дюймів, а ширина проводів зменшилася з 0.5 мкм до 0.25 мкм, 0.18 мкм або навіть 0.13 мкм, завдяки швидкому розвитку індустрії мікроелектроніки. Раніше 99,995 відсотка цільової чистоти могло відповідати вимогам процесу 0.35 мкм IC, тоді як 99,999 відсотка або навіть 99,9999 відсотка цільової чистоти потрібно для підготовки 0.18 мкм ліній .
Основними джерелами забруднення осаджених плівок є домішки в цільовій твердій речовині та кисень і водяна пара в порах. Різні цільові матеріали мають різні вимоги до різного вмісту домішок. Наприклад, мішені з чистого алюмінію та алюмінієвих сплавів, які використовуються в напівпровідниковій промисловості, мають особливі вимоги щодо вмісту лужних металів і радіоактивних елементів.
Мішень, як правило, повинна мати високу щільність, щоб зменшити пористість цільової твердої речовини та підвищити продуктивність напиленої плівки. Крім швидкості розпилення, на електричні та оптичні характеристики плівки також впливає щільність мішені. Плівка працює тим краще, чим більша щільність цілі. Крім того, мішень може краще переносити тепловий стрес під час процесу напилення, стаючи щільнішим і міцнішим. Щільність також є одним з ключових показників ефективності мішені.
